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揭秘低成本無掩模光刻機如何實現微米級快速曝光-北京麻豆国产精品入口科技有限公司



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    揭秘低成本無掩模光刻機如何實現微米級快速曝光

    更新時間:2026-01-22點擊次數:219

    本文將介紹一種基於DLP投影技術的無掩模光刻機UTA-1A的組成與工作原理,帶您了解其如何實現快速、靈活的圖形化光刻。

    一、核心組成與工作原理

            UTA-1A係統主要由四個部分構成:DLP投影係統、相機模塊、顯微鏡光學係統以及專用操作軟件。其核心為DLP投影係統,該技術基於數字微鏡器件(DMD),是一種通過微鏡陣列對光進行高速調製的MEMS技術。

            DMD芯片上分布著數百萬個可獨立控製的微鏡,每個微鏡對應圖像中的一個像素。通過電信號控製微鏡的偏轉狀態,可實現光路的開關調製,進而將設計好的圖形投影至光刻膠塗層表麵,完成曝光。


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    二、係統特點與光刻能力

            結合顯微鏡光學係統,用戶可在操作軟件中自由設計光刻圖形,實現在不同倍率下對微米至毫米級別區域進行曝光。該係統可在數秒內完成一次曝光,最小光刻線寬可達 1μm。

    設備結構示意圖如下:

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    三、靈活的設備獲取方式

            了解其基本原理後,您可能會覺得光刻並沒有想象中那麽遙不可及。盡管UTA-1A與工業級光刻設備不在同一量級,但其作為一款入門級無掩模光刻係統,已能滿足多數科研或教學場景的需求。

            若您希望自行組裝,確實需要一定的光學與機械調試經驗;麻豆国产精品入口也提供成熟整機方案,若您已有適配的顯微鏡,該係統的成本將更具吸引力,歡迎進一步谘詢具體配置與報價。



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